微量氧分析儀的原理主要有化學電池法、原電池法、燃料電池法、赫茲電池法和濃差電池法。要檢測的氧氣先通過一個小的毛細口傳感器，然后通過一個疏水膜擴散進入，到達電極表面。傳感器的結構設計保證會有適量的氣體進入與感應電極反應產生足夠的電信號，并同時防止電解液泄漏出傳感器。通過疏水膜擴散進入傳感器里的氣體在感應電極發生氧化／還原反應，電極間連接一個電阻，這樣，陰極和陽極間會產生一個與氧濃度成正比的電流。通過檢測這個電流，就反應出氣體中的氧濃度。

微量氧分析儀的原電池式傳感器由兩個金屬電極、電解質、擴散透氣膜和外殼組成，兩個金屬電極中Ａｇ為工作電極，Ｐｂ為對電極。傳感器工作時氧氣通過擴散氣膜進入傳感器，在工作電極上發生化學反應。同時，對電極上發生氧化反應。尤其適合于還原性氣體和可燃性氣體中微量氧濃度在線分析。

廣泛應用于石油化工過程中的氣體檢測、空氣分離、保護氣氛爐工藝檢測、氣體生產制造檢測、食品生產過程氣體檢測、惰性氣體和碳氫化合物氣體中的氧濃度檢測等行業便攜多點氧濃度檢測。

整個量程內任意一點校準即可，無須多點校準，使得校準簡單方便；數據自動存儲功能，用戶可隨時本地查閱歷史數據。